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FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運機器人

FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運機器人
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FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運機器人

FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

產(chǎn)品描述


單軸大氣晶圓片盒搬運機器人
FA4230_FA系列半導(dǎo)體機器人
 
  • ●采用閉環(huán)伺服控制
  • ●可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長和Z軸行程
  • ●可選配免電池絕對式編碼器
  • ●可選mapping傳感器類型:對射式、反射式
  • ●可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

臂長

420mm

額定/最大負載

4kg

搬運物

≤Φ300mm晶圓

新時達眾為興FA4230F_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運機器人

關(guān)鍵詞:

FA4新時達眾為興230F_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運機器人

規(guī)格參數(shù)

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