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FBA6432_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

FBA6432_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
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FBA6432_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

FBA6432D_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型雙臂雙手指晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

產(chǎn)品描述


5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
FBA6432_FBA系列半導(dǎo)體機器人
 
  • 采用閉環(huán)伺服控制
  • 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長和Z軸行程
  • 可選配免電池絕對式編碼器
  • 可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式

臂長

640mm

額定/最大負載

4kg

搬運物

≤Φ300mm晶圓

新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

關(guān)鍵詞:

新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

規(guī)格參數(shù)

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