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基于豐富的產(chǎn)品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。 -
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集團成員
ENSA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
產(chǎn)品描述
4軸大氣5片晶圓搬運機器人
SA25_SA系列半導體機器人
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 可選配免電池絕對式編碼器
- ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
- ● 末端執(zhí)?器類型：下托式
臂長
250mm
額定/最大負載
5晶圓
搬運物
Φ100~Φ300mm晶圓
關(guān)鍵詞：
新時達眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
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